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纳米氧化铝抛光液:半导体“芯”时代的超精密抛光密钥

发布日期:2025-09-25浏览次数:66

达西浓纳米自主生产的氧化铝抛光液AL30以氧化铝为核心成分,凭借其粒径均匀性、高硬度、化学稳定性及环保特性,在多领域展现出显著优势,具体应用优势如下:

一、核心成分与特性

主要成分:氧化铝抛光液AL30以高纯度氧化铝(α-Al₂O₃)为核心磨料,其晶体结构稳定,硬度高,适合处理硬质材料。

  1. 粒径均匀性氧化铝抛光液 D50在200-300nm(马尔文2000)确保抛光精度,减少表面粗糙度。

  2. 化学稳定性氧化铝抛光液AL30抛光过程中不与材料发生化学反应,避免引入杂质或改变表面性质。

  3. 分散性与悬浮性:通过添加分散剂,氧化铝颗粒均匀悬浮于液体中,防止沉淀,提升使用稳定性。

  4. 环保性:不含重金属或有害化学物质,符合环保要求,操作安全。

纳米氧化铝抛光液:半导体“芯”时代的超精密抛光密钥

二、应用领域

  1. 电子行业

    半导体制造氧化铝抛光液AL30用于单晶硅片、光纤的化学机械抛光(CMP),去除表面变形层,提升平整度。

    PCB与金相切片氧化铝抛光液AL30高精度研磨,确保导电层均匀性。

  2. 光学与精密加工

    光学玻璃/透镜氧化铝抛光液AL30通过机械抛光快速去除表面瑕疵,提升透光率和光泽度。

    蓝宝石衬底:利用氧化铝的高硬度和耐磨性,氧化铝抛光液AL30加工蓝宝石等硬质材料,满足光学、热学性能要求。

  3. 金属加工

    不锈钢/铝合金氧化铝抛光液AL30实现镜面效果,同时增强抗腐蚀性能,适用于餐具、装饰材料等领域。

    钛合金/锌合金:高效去除氧化层,提升表面光洁度。

    纳米氧化铝抛光液:半导体“芯”时代的超精密抛光密钥

三、技术优势

  1. 高效去除率
    氧化铝的高硬度使其能快速切除材料表面不平整部分,缩短抛光周期。例如,在半导体抛光中,可高效去除晶圆表面的变形层,提升良率。

  2. 表面质量优化
    粒径均匀的氧化铝颗粒能实现微观凹凸度的平滑化,减少划痕和缺陷。在光学抛光中,可显著提升透镜的成像质量。

  3. 工艺兼容性
    可适配自动抛光机、平面研磨机等设备,支持粗抛、精抛等多工序需求。部分产品通过调节pH值和黏度,实现水性、油性、蜡状等多种形态,满足不同工艺场景


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